JED-2300/2300F 能譜儀

JED-2300/2300F 能譜儀是以“圖像觀察和分析“ 為基本理念的TEM/EDS集成系統，通過與SEM的馬達驅動樣品臺聯動使用，可以進行大范圍的觀察和分析。EDS通過檢測被電子束激發出的樣品的特征X射線，確定樣品含有的元素及成分比，可以進行微區的點分析、線分析及面分析。

JSM-6510/LA, JSM-6610A/LA 系列

JED-2300/2300F 能譜儀可以在SEM圖像上分析位置，開始EDS分析。

VID

將采集的X射線譜圖和Visual PeakID（VID）合成的譜圖進行比較，定性結果可以通過視覺、數值判斷

Play Back

Play Back (回放) 功能
用JEOL制造的EDS采集的元素面分布圖，不僅保存了每一幀中各個像素點的譜圖，還對每一幀中電子束形成的圖像進行了存儲。利用Play back功能，可以進行多角度的分析如觀測譜圖等隨時間的變化等。測試后數據能夠回放，可以觀察到樣品按時間順序發生的變化，這是至今為止無法實現的。此外，利用Play Back功能還可以截取任意的畫面。

Smile Station™ 2

Smile Station™2功能通過在多個視野上自動進行分析，生成SEM和元素面分布圖的無縫蒙太奇圖像，也可以在取得的視野上進行連續的元素面分布和點分析等。

Dry SD 檢測器

Dry SD 檢測器（SDD檢測器）與傳統的EDS檢測器不同，不需要液氮制冷。使用快速簡單，同時實現了高分辨率和高計數率處理。