JIB-4000PLUS 聚焦離子束加工觀察系統

• JIB-4000PLUS 聚焦離子束加工觀察系統配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。 被加速的鎵離子束經聚焦照射樣品后，能對樣品表面進行SIM觀察 、研磨、及碳和鎢等沉積。還可以為TEM制備薄膜樣品，為觀察樣品內部制備截面樣品。 該設備能配置3D觀察功能、自動TEM樣品制備功能，能對應多種制樣需求。

• JIB-4000PLUS 聚焦離子束加工觀察系統高性能FIB鏡筒

• JIB-4000PLUS采用高性能的FIB鏡筒，最大離子束流高達 60 nA，可以擴展到90nA大束流（為可選件），能進行快速研磨。大電流下的快速加工尤其適合于大面積的研磨，100 μｍ以上的大截面也可以在短時間內制成。

圖1  100μm 直徑焊料凸塊的截面制備和截面觀察

• 用戶友好的FIB裝置

• JIB-4000PLUS高性能的 FIB鏡筒具有出色的可操作性，外觀和GUI設計都很友好。 即使沒用過FIB也能夠輕松操作； 此外，該裝置小巧緊湊為業界最小體積，安裝場所的選擇范圍很大。

• 雙樣品臺

• JIB-4000PLUS標配的塊狀樣品馬達驅動樣品臺可供塊狀樣品使用，此外還可以增配側插式測角臺（TEM用Tip-on 樣品架可以直接插入）。側插式測角臺與JEOL的TEM系統通用，這樣，FIB加工和TEM觀察的反復交替就能很容易地進行。

• 3D觀察功能

• 為了進行3D觀察，設備標配連續切片截面觀察功能。JIB-4000PLUS雖然是單束FIB，但是可以通過SIM像進行3D觀察。用3D重構軟件，可以將收集到的截面圖像重建為3D圖像，可以從各種角度顯示3D圖像。

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• 圖2  CCD imaging center 的3D重構圖

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• 自動TEM制樣功能

• 自動TEM制樣功能 "STEMPLING" 是選配件。有了這個功能，制樣不需要有很高的技能，任何人都能簡單地制樣，也可以對多個樣品自動制樣，提高工作效率。

圖3  自動TEM制樣功能 (STEMPLING) 的加工例    樣品：焊料

• 豐富的附件

• 有各種附件可用來支持JIB-4000的操作。包括對電路修改應用特別有效的CAD導航系統，對特殊形狀加工有效的矢量掃描系統等。通過給JIB-4000安裝適當的附件，該系統可以支持樣品制備以外的應用。